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具有修正扭转误差功能的位移检测系统 (发明)

文献类型:专利

作者孙强; 卢振武
发表日期2012-07-04
专利类型发明专利
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中文摘要具有修正扭转误差功能的位移检测系统,涉及一种位移检测系统,它解决现有测量技术针对测量仪器本身的测量精度设计,由于机床本身的机械结构精度或者安装精度的原因,测量仪器本身的测量精度不能够得到充分的发挥,本系统第一标准光栅、第二标准光栅、采样控制模块、第一位置信号探测系统、第二位置信号探测系统和位置分析模块;第一位置信号探测……
公开日期2012-08-29
专利申请号201110449436.5
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12180]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
孙强,卢振武. 具有修正扭转误差功能的位移检测系统 (发明). 2012-07-04.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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