具有修正扭转误差功能的位移检测系统 (发明)
文献类型:专利
作者 | 孙强![]() ![]() |
发表日期 | 2012-07-04 |
专利类型 | 发明专利 |
权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
中文摘要 | 具有修正扭转误差功能的位移检测系统,涉及一种位移检测系统,它解决现有测量技术针对测量仪器本身的测量精度设计,由于机床本身的机械结构精度或者安装精度的原因,测量仪器本身的测量精度不能够得到充分的发挥,本系统第一标准光栅、第二标准光栅、采样控制模块、第一位置信号探测系统、第二位置信号探测系统和位置分析模块;第一位置信号探测…… |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利申请号 | 201110449436.5 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12180] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙强,卢振武. 具有修正扭转误差功能的位移检测系统 (发明). 2012-07-04. |
入库方式: OAI收割
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