一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 马冬梅
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| 发表日期 | 2012-07-25 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种光学元件面形误差的高精度测试装置和方法，涉及光学测试技术领域，该装置成本低廉，能够快速简便的进行测量和对自身的测量误差进行校准，测量精度高，对测量环境的要求相对宽松。该装置和方法将相位复原方法和点衍射干涉仪的原理融合在一起。采用小孔为测试装置产生理想球面波，对光学面形误差进行高精度测试。该测试装置和方法具有两部分功…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201210080275.1 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12233]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马冬梅. 一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法 (发明). 2012-07-25. |
入库方式： OAI收割
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