光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置 (发明)
文献类型：专利
| 作者 | 谭向全 ; 孙强; 卢振武
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| 发表日期 | 2012-07-25 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，涉及标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，解决现有采用接触式测量光栅尺标尺光栅的铣磨面直线度时，由于存在测量误差，导致检测数据不准确的问题，ＬＥＤ光源发出的光经过聚光镜聚光后，被分光棱镜向下反射，透过物镜后形成圆形光斑，光斑的一半照在标尺光栅上，另一半照在底座…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201210088597.0 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12234]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭向全,孙强,卢振武. 光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置 (发明). 2012-07-25. |
入库方式： OAI收割
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