一种微构件摩擦力测试仪 (实用新型)
文献类型：专利
| 作者 | 吴一辉
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| 发表日期 | 2001-10-10 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型涉及一种对微机械构件进行摩擦力测量仪器的改进。它包括：减振工作台、摩擦力测试主体、光学显微镜及ＣＣＤ系统、监视器、控制系统。本实用新型由于采用独特微悬臂和微探针进行测量，使微加工样片表面三维结构下的摩擦力得到真实反映，同时可以针对不同材料样片选用不同的微探针。由于微构件表面是由一定三维图形组成的立体结构，本实…… |
| 公开日期 | 2001-10-10 |
| 专利申请号 | 264765.6 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12287]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 一种微构件摩擦力测试仪 (实用新型). 2001-10-10. |
入库方式： OAI收割
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