静电叠层式兰姆波微型传感器 (实用新型)
文献类型：专利
| 作者 | 吴一辉
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| 发表日期 | 2002-05-22 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型用于压力、加速度测量，可以应用于生物、化学、环境等许多领域中，涉及对液体或气体蒸汽等微质量变化的测量，尤其是涉及一种对兰姆波微传感器的改进。它包括衬底、薄膜，金属层、凸台、接收窗口、叉指电极、齿状支撑、衬底，本实用新型采用常规的体硅工艺，不需特殊工艺便可制造；由于采用薄膜、金属层、凸台、齿状支撑和叉指电极的结…… |
| 公开日期 | 2002-05-22 |
| 专利申请号 | 1221717.4 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12318]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 静电叠层式兰姆波微型传感器 (实用新型). 2002-05-22. |
入库方式： OAI收割
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