一种圆柱面光栅光刻刻划机 (实用新型)
文献类型：专利
| 作者 | 陈贇 ; 朱应时 |
| 发表日期 | 2005-02-02 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型公开一种圆柱面光栅光刻刻划机，属于光学精密刻划技术领域中涉及的一种圆柱面光栅光刻刻划机，本实用新型要解决的技术问题是：提供一种圆柱面光栅光刻刻划机。解决技术问题的技术方案是：包括床身、传动系统、分度机构和曝光系统。该机是在原来平面光栅光刻机的基础上，继续采用原来的床身、分度机构，对传动系统作了少许的改动，重新…… |
| 公开日期 | 2005-02-02 |
| 专利申请号 | 200420011463.X |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12394]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈贇,朱应时. 一种圆柱面光栅光刻刻划机 (实用新型). 2005-02-02. |
入库方式： OAI收割
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