柔性平板波压差式微流量传感器 (实用新型)
文献类型：专利
| 作者 | 吴一辉
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| 发表日期 | 2006-01-18 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型属于微机电系统领域，涉及微流量测量的传感器。包括：入口１、上盖２、微腔体一３、主体４、导线一５、支架６、信号处理模块７、导线二８、微腔体二９、微管道１０、出口１１。用柔性平板波提高灵敏度；用薄膜内应力测量动态范围大，提高动态范围；用双力传感器，解决背压影响和温度补偿；用非加热法实现生物兼容性；利用应力响应快提…… |
| 公开日期 | 2006-01-18 |
| 专利申请号 | 200420012709.5 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12570]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 柔性平板波压差式微流量传感器 (实用新型). 2006-01-18. |
入库方式： OAI收割
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