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降低大功率半导体激光器发散角的窄波导结构

文献类型:专利

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作者祁琼 ; 熊聪 ; 王俊 ; 郑凯 ; 刘素平 ; 马骁宇
专利国别中国
专利号CN102163804A
专利类型发明
权利人中国科学院半导体研究所
中文摘要 本发明一种降低大功率半导体激光器发散角的窄波导结构,包括:一衬底;一N型限制层,该N型限制层制作在衬底上;一N型波导层,该N型波导层制作在N型限制层上;一量子阱层,该量子阱层制作在N型波导层上;一P型波导层,该P型波导层制作在量子阱层上;一P型限制层,该P型限制层制作在P型波导层上。
公开日期2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09
申请日期2011-03-17
语种中文
专利申请号 CN201110064481.9
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23401]  
专题半导体研究所_光电子器件国家工程中心
推荐引用方式
GB/T 7714
祁琼,熊聪,王俊,等. 降低大功率半导体激光器发散角的窄波导结构, 降低大功率半导体激光器发散角的窄波导结构, 降低大功率半导体激光器发散角的窄波导结构, 降低大功率半导体激光器发散角的窄波导结构. CN102163804A.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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