一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法
文献类型：专利
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| 作者 | 郑婉华 ; 马传龙 ; 范学东 ; 渠红伟 ; 彭红玲 ; 王海玲 ; 马绍栋 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN102321920A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及晶体材料处理技术领域,公开了一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法,包括：在铁电晶体材料上施加高脉冲电压,将该铁电晶体材料极化为周期性反转铁电晶体；以及对该周期性反转铁电晶体进行切割、抛光和对准键合,完成大厚度周期极化铁电晶体材料的制备。利用本发明可制备出大厚度的周期极化铁电晶体材料。 |
| 公开日期 | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN201110241438.5 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23448]  |
| 专题 | 半导体研究所_纳米光电子实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑婉华,马传龙,范学东,等. 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法, 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法, 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法, 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法. CN102321920A. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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