多级高精度微位移传感器探头
文献类型：专利
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| 作者 | 王欣 ; 谢亮 ; 鞠昱 ; 刘宇 ; 漆晓琼 ; 孙可 ; 满江伟 ; 袁海庆 ; 祝宁华 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 中文摘要 | 一种多级高精度微位移传感器探头,其中包括：一光纤束；一光纤束固定保护金属套,该光纤束固定保护金属套为中空圆柱体,在该光纤束固定保护金属套的中心开有一固定孔,所述光纤束穿过该光纤束固定保护金属套的固定孔固定。 |
| 公开日期 | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN201110025009.4 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23431]  |
| 专题 | 半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王欣,谢亮,鞠昱,等. 多级高精度微位移传感器探头, 多级高精度微位移传感器探头, 多级高精度微位移传感器探头, 多级高精度微位移传感器探头. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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