激光外差共路干涉光学系统 （发明）
文献类型：专利
| 作者 | 卢振武
|
| 发表日期 | 1997-04-09 |
| 专利号 | 1034530 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种测量物体超光滑表面的粗糙度、微细表面轮廓、微小位移、微小变形的装置及方法，是对激光外差干涉方法及系统的改进。本发明的共路干涉系统由光源１２、接收器２、接收器１１、分束器１，偏振分束器３，多面反射棱镜５、偏振分束器７、波片９、透镜１０、透镜８、反射…… |
| 公开日期 | 1997-04-09 |
| 申请日期 | 1992-05-16 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 92103398.2 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12636]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢振武. 激光外差共路干涉光学系统 （发明）. 1034530. 1997-04-09. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。