超薄微腔激光器件的移植方法 （发明）
文献类型：专利
| 作者 | 王立军
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| 发表日期 | 1999-07-07 |
| 专利号 | 1221986 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种超薄微腔激光器件的移植方法，属半导体技术领域。采用低粘度树脂粘结及相应的选择腐蚀工艺成功地将直径５微米，厚０．１９微米的超薄微腔激光器移植到低折射率的材料上。明显改善了器件的机械强度和激光器光学特性。 |
| 公开日期 | 2012-09-14 |
| 申请日期 | 1997-12-27 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 97123416.7 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12718]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王立军. 超薄微腔激光器件的移植方法 （发明）. 1221986. 1999-07-07. |
入库方式： OAI收割
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