基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李文昊 ; 巴音贺希格 ; 齐向东 |
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 出版日期 | 2007-02-15 |
| 期号 | 1 |
| 关键词 | 全息光栅 光刻胶热熔法 离子束刻蚀 原子力显微镜 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 根据表面热动力学原理提出了一种成本低廉、制作周期短、易于实现的光刻胶热熔法,阐述了光刻胶热熔法的基本原理,探讨了光刻胶热熔对光刻胶光栅表面刻槽形状的影响。实验中,分别对经过和未经过热熔处理的光刻胶光栅做了离子束刻蚀。结果表明,利用表面张力作用可使熔融状态下的光刻胶光栅刻槽表面变得平滑,粗糙度降低,并且成功地在K9玻璃基底上得到了槽形较好的全息光栅。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21228]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文昊,巴音贺希格,齐向东. 基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理[J]. 微细加工技术,2007(1). |
| APA | 李文昊,巴音贺希格,&齐向东.(2007).基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理.微细加工技术(1). |
| MLA | 李文昊,et al."基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理".微细加工技术 .1(2007). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。