时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 袁宏韬 ; 张贵彦 |
| 刊名 | 激光与红外
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| 出版日期 | 2007-04-30 |
| 期号 | 4 |
| 关键词 | 倍频波长分离膜 时间监控 双离子束溅射 半波孔 |
| ISSN号 | 1001-5078 |
| 中文摘要 | 采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532nm绿光激光器用倍频波长分离膜。针对制备过程中产生的半波孔现象,在简单分析形成原因的基础上,采用分组厚度优化方式调整膜层厚度,从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜。为时间监控制备非规整膜系的厚度修正提供了一种切实可行的办法。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21268]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁宏韬,张贵彦. 时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜[J]. 激光与红外,2007(4). |
| APA | 袁宏韬,&张贵彦.(2007).时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜.激光与红外(4). |
| MLA | 袁宏韬,et al."时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜".激光与红外 .4(2007). |
入库方式： OAI收割
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