CaF_2晶体及加工技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 范翊
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| 刊名 | 长春理工大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2007-06-15 |
| 期号 | 2 |
| 关键词 | CaF2晶体 切割 抛光 晶体加工 |
| ISSN号 | 1672-9870 |
| 中文摘要 | 随着深紫外准分子激光光刻技术的发展,所用CaF2光学晶体镜头材料的加工对传统的冷加工技术提出了挑战。本文结合CaF2晶体的基本性质,对其加工技术进行了极大的改进。通过控制合适的工艺参数,采用特殊的加工方法可以加工出高质量的CaF2光学晶体。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21292]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范翊. CaF_2晶体及加工技术研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2007(2). |
| APA | 范翊.(2007).CaF_2晶体及加工技术研究.长春理工大学学报(自然科学版)(2). |
| MLA | 范翊."CaF_2晶体及加工技术研究".长春理工大学学报(自然科学版) .2(2007). |
入库方式： OAI收割
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