静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙小伟 ; 齐迎春 ; 金光 |
| 刊名 | 半导体光电
 |
| 出版日期 | 2007-08-15 |
| 期号 | 4 |
| 关键词 | 静电拉伸薄膜反射镜 平板电容 半球模型 薄膜变形 |
| ISSN号 | 1001-5868 |
| 中文摘要 | 静电拉伸薄膜反射镜是利用静电场库仑力作用使薄膜产生面形变化,生成所需的光学曲面。由于薄膜反射镜成形过程中力场与静电场的相互耦合作用非常复杂,使其到目前为止在面形控制的理论分析上仍未有定量的结果。首先以平板电容理论为基础,对薄膜成形静电力场进行了近似分析,然后根据半球模型求解了薄膜结构变形,最终得到了薄膜反射镜面形尺寸与静电压参数的函数关系。所得结论对静电拉伸薄膜的研究工作具有一定的指导意义。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21332]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙小伟,齐迎春,金光. 静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究[J]. 半导体光电,2007(4). |
| APA | 孙小伟,齐迎春,&金光.(2007).静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究.半导体光电(4). |
| MLA | 孙小伟,et al."静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究".半导体光电 .4(2007). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。