基于MEMS的无阀泵研究进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴一辉
|
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 出版日期 | 2007-08-15 |
| 期号 | 4 |
| 关键词 | MEMS 微型无阀泵 扩张管/收缩管 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 微流体控制系统是微机电集成系统(MEMS)一个主要分支,微泵作为微流体控制系统的重要组成部分,根据其有无阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵。无阀型微泵由于其结构相对简单、制造工艺要求不高,因而有着独特的发展优势。主要介绍了基于MEMS的扩张管/收缩管型无阀泵几年来在结构设计、制作工艺等方面的研究成果、现状和发展前景。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21335]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 基于MEMS的无阀泵研究进展[J]. 微细加工技术,2007(4). |
| APA | 吴一辉.(2007).基于MEMS的无阀泵研究进展.微细加工技术(4). |
| MLA | 吴一辉."基于MEMS的无阀泵研究进展".微细加工技术 .4(2007). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。