LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王文博 ; 王晓慧 ; 黄苒 ; 欧毅 ; 杜寰 ; 夏洋 ; 韩郑生 ; 冯亚云 ; 凌志华 |
| 刊名 | 液晶与显示
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| 出版日期 | 2008-10-15 |
| 期号 | 5 |
| 关键词 | LCoS 微显示 CMP 镜面电极 |
| ISSN号 | 1007-2780 |
| 中文摘要 | 介绍了LCoS技术的特点与发展现状,LCoS性能的优劣与硅基片平整度有直接关系,着重进行了LCoS微显示驱动技术表面形貌的研究与改进。通过严格控制工艺步骤,降低台阶高度;合理设计版图布局,使台阶叠加在隔离像素区域的沟槽中,这样既能实现像素电极区域的局部平坦化,又因为沟槽不作为显示区域,对整体显示效果影响较小。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21375]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王文博,王晓慧,黄苒,等. LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进[J]. 液晶与显示,2008(5). |
| APA | 王文博.,王晓慧.,黄苒.,欧毅.,杜寰.,...&凌志华.(2008).LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进.液晶与显示(5). |
| MLA | 王文博,et al."LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进".液晶与显示 .5(2008). |
入库方式： OAI收割
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