MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵东旭 ; 申德振; 李炳辉; 张振中
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| 刊名 | 发光学报
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| 出版日期 | 2008-12-15 |
| 期号 | 6 |
| 关键词 | ZnO薄膜 MSM 光导紫外探测器 射频磁控溅射 |
| ISSN号 | 1000-7032 |
| 中文摘要 | 采用射频磁控溅射在石英衬底上制备了c轴择优取向的ZnO薄膜,利用蚀刻技术制备了MSM结构的光导型紫外探测器。在3V偏压下,器件的暗电流小于250nA,光响应峰值在370nm,响应度是0.34A/W。其紫外(360nm)与可见光(420nm)的抑制比为4个数量级。器件的光响应时间上沿仅为20ns。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21460]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵东旭,申德振,李炳辉,等. MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质[J]. 发光学报,2008(6). |
| APA | 赵东旭,申德振,李炳辉,&张振中.(2008).MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质.发光学报(6). |
| MLA | 赵东旭,et al."MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质".发光学报 .6(2008). |
入库方式： OAI收割
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