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用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器

文献类型:期刊论文

作者申德振
刊名中国光学与应用光学
出版日期2008-12-15
期号Z1
关键词MgZnO薄膜 射频磁控溅射 金属有机化学汽相沉积 日盲紫外探测器
ISSN号1674-2915
中文摘要考虑ZnO优秀的物理和化学性能以及由于生长温度低而具有更低的缺陷密度从而易于实现高的光电器件效率等特点,本文采用射频磁控溅射和金属有机化学汽相沉积(MOCVD)方法在石英及蓝宝石衬底上生长了立方结构MgZnO薄膜,制备了MgZnO的MSM型紫外探测器。该器件实现了在日盲(太阳盲)波段的光响应,典型的光响应峰值分别在225和250nm,截止边为230和273nm。
公开日期2012-09-25
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21466]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
申德振. 用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器[J]. 中国光学与应用光学,2008(Z1).
APA 申德振.(2008).用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器.中国光学与应用光学(Z1).
MLA 申德振."用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器".中国光学与应用光学 .Z1(2008).

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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