复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 韩旭东 ; 续志军
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| 刊名 | 中国光学与应用光学
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| 出版日期 | 2008-12-15 |
| 期号 | Z1 |
| 关键词 | 高精度光栅 挠度 厚度 |
| ISSN号 | 1674-2915 |
| 中文摘要 | 为了复制高精度、大直径薄光栅盘,对曝光装置中影响感光条件的支撑板进行了受力分析。将支撑板的力学分析归结为边界简支的圆形薄板的小挠度问题,通过理论计算得到了支撑板的挠度和厚度的计算关系式,为设计支撑板提供了理论依据。根据理论推导,选择旋转式曝光装置,采用直径为1000mm、厚度为40mm的支撑板,研制出了较高精度的大直径薄光栅盘,其最大直径误差为0.47″,均匀性误差为8%,满足了使用要求。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21467]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩旭东,续志军. 复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析[J]. 中国光学与应用光学,2008(Z1). |
| APA | 韩旭东,&续志军.(2008).复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析.中国光学与应用光学(Z1). |
| MLA | 韩旭东,et al."复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析".中国光学与应用光学 .Z1(2008). |
入库方式： OAI收割
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