19_5nm极紫外反射镜的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵伟 ; 袁宏韬 ; 缪同群 |
| 刊名 | 光学技术
 |
| 出版日期 | 2008-05-15 |
| 期号 | 3 |
| 关键词 | 薄膜光学 极紫外 多层膜 非周期 离子束溅射 同步辐射 |
| ISSN号 | 1002-1582 |
| 中文摘要 | 介绍了一种用于太阳观测19.5nm极紫外多层膜的研究工作。利用软件对规整的Mo/Si膜系结构进行了优化,拓宽了反射带宽,提高了积分反射率。采用双离子束溅射技术,时间控厚,成功制备了该反射镜。通过同步辐射反射率计测试表明,峰值反射率27.5%,均匀性在1%以内,已初步达到预设要求。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21620]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵伟,袁宏韬,缪同群. 19_5nm极紫外反射镜的研制[J]. 光学技术,2008(3). |
| APA | 赵伟,袁宏韬,&缪同群.(2008).19_5nm极紫外反射镜的研制.光学技术(3). |
| MLA | 赵伟,et al."19_5nm极紫外反射镜的研制".光学技术 .3(2008). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。