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一种三次非旋转对称的相位板的检测系统设计

文献类型:期刊论文

作者张新
刊名光学学报
出版日期2008-05-15
期号5
关键词光学设计 计算全息 检测 级次分离 公差分析
ISSN号0253-2239
中文摘要作为零位干涉检测方法中非常有前途的一种方法,计算全息可以用于非旋转对称的非球面的检测。以三次相位板为例,阐述了利用计算全息图检测非旋转对称的非球面的基本原理。分析并推导了三次相位传播过程引入的高阶波像差的理论公式,给出了三次相位板的检测系统的设计结果。详细讨论了计算全息图衍射级次的分离以及计算全息图的二元化,给出了振幅型的计算全息图的图样。计算全息图的刻线最小间隔是40μm,计算全息图的制作精度对检测结果的波前误差的影响仅仅为0.005λ。对检测系统作了详细的公差分析,结果表明所有调整公差对整个检测系统的影响和方根值为83.954nm。
公开日期2012-09-25
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21628]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
张新. 一种三次非旋转对称的相位板的检测系统设计[J]. 光学学报,2008(5).
APA 张新.(2008).一种三次非旋转对称的相位板的检测系统设计.光学学报(5).
MLA 张新."一种三次非旋转对称的相位板的检测系统设计".光学学报 .5(2008).

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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