冰洲石晶体的化学机械抛光研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王海鹏 ; 王永宪 ; 王善军 ; 薛军 |
| 刊名 | 机械工程师
 |
| 出版日期 | 2008-08-10 |
| 期号 | 8 |
| 关键词 | 冰洲石 化学机械抛光 工艺技术 性能测试 |
| ISSN号 | 1002-2333 |
| 中文摘要 | 针对冰洲石的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的晶体加工工艺。在重点讨论了化学机械抛光工艺同时,对加工后零件的表面质量、消光比及透过率进行了测试。结果表明,所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21730]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王海鹏,王永宪,王善军,等. 冰洲石晶体的化学机械抛光研究[J]. 机械工程师,2008(8). |
| APA | 王海鹏,王永宪,王善军,&薛军.(2008).冰洲石晶体的化学机械抛光研究.机械工程师(8). |
| MLA | 王海鹏,et al."冰洲石晶体的化学机械抛光研究".机械工程师 .8(2008). |
入库方式： OAI收割
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