太阳盲MgZnO光电探测器
文献类型:期刊论文
作者 | 申德振![]() ![]() ![]() |
刊名 | 发光学报
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出版日期 | 2008-08-15 |
期号 | 4 |
关键词 | MgZnO合金薄膜 太阳盲光电探测器 射频磁控溅射 |
ISSN号 | 1000-7032 |
中文摘要 | 利用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了MgZnO合金薄膜,并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了梳妆叉指Au电极,构成金属-半导体-金属(MSM)结构。在室温下,实现了太阳盲MgZnO光电探测器,器件的探测峰值位于225nm,截止边为230nm。 |
公开日期 | 2012-09-25 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21733] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 申德振,张振中,赵东旭. 太阳盲MgZnO光电探测器[J]. 发光学报,2008(4). |
APA | 申德振,张振中,&赵东旭.(2008).太阳盲MgZnO光电探测器.发光学报(4). |
MLA | 申德振,et al."太阳盲MgZnO光电探测器".发光学报 .4(2008). |
入库方式: OAI收割
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