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太阳盲MgZnO光电探测器

文献类型:期刊论文

作者申德振; 张振中; 赵东旭
刊名发光学报
出版日期2008-08-15
期号4
关键词MgZnO合金薄膜 太阳盲光电探测器 射频磁控溅射
ISSN号1000-7032
中文摘要利用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了MgZnO合金薄膜,并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了梳妆叉指Au电极,构成金属-半导体-金属(MSM)结构。在室温下,实现了太阳盲MgZnO光电探测器,器件的探测峰值位于225nm,截止边为230nm。
公开日期2012-09-25
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21733]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
申德振,张振中,赵东旭. 太阳盲MgZnO光电探测器[J]. 发光学报,2008(4).
APA 申德振,张振中,&赵东旭.(2008).太阳盲MgZnO光电探测器.发光学报(4).
MLA 申德振,et al."太阳盲MgZnO光电探测器".发光学报 .4(2008).

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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