光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响
文献类型:期刊论文
作者 | 秦富林 ; 张尧禹 ; 蔡盛 ; 乔彦峰 |
刊名 | 中国光学与应用光学
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出版日期 | 2009-12-15 |
期号 | 6 |
关键词 | 光栅周期不一致 莫尔条纹法 扭转角测量 |
ISSN号 | 1674-2915 |
中文摘要 | 为了提高用莫尔条纹法测量扭转角的测量精度,分析了光栅周期不一致对扭转角测量误差的影响。从基于莫尔条纹法测量扭转角的原理出发,论述了光栅周期不一致与测量精度的关系,讨论了引起两光栅周期不一致的两个因素,即光栅刻划误差以及两光栅栅面不平行。理论分析表明,前者是引起光栅周期不一致的主要原因。当两光栅等效周期比值β<1.001时,在±15′的测量范围内,选择光栅周期为50μm,莫尔条纹宽度为1400~1800μm时,光栅周期不一致引起的测量误差可以控制在1.6″之内。 |
公开日期 | 2012-09-25 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21891] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦富林,张尧禹,蔡盛,等. 光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响[J]. 中国光学与应用光学,2009(6). |
APA | 秦富林,张尧禹,蔡盛,&乔彦峰.(2009).光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响.中国光学与应用光学(6). |
MLA | 秦富林,et al."光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响".中国光学与应用光学 .6(2009). |
入库方式: OAI收割
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