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固着磨料加工碳化硅反射镜的实验

文献类型:期刊论文

作者刘建卓; 王旭
刊名光学精密工程
出版日期2009-04-15
期号4
关键词碳化硅反射镜 固着磨料 丸片 去除率 表面粗糙度
ISSN号1004-924X
中文摘要考虑固着磨料加工工艺其固着磨料与工件相对运动关系固定,有利于精确加工,提出了采用该工艺加工碳化硅反射镜的方法,利用大颗粒金刚石磨料快速加工出了较好的镜面质量。在工艺实验中,分别测得了W7,W5,W3.5,W1.5固着磨料丸片在特定转速和压力下对碳化硅材料的去除特性。对多组去除量曲线的分析表明,此工艺不仅有着较高的去除率,而且稳定性良好。对表面粗糙度测量的结果表明,使用W7丸片即可获得粗糙度为42.758nmrms的镜面。减小所用丸片的粒度,工件表面粗糙度随之减小,使用W1.5丸片抛光后,最终获得了粗糙度为1.591nmrms的光滑镜面。实验结果表明,固着磨料加工碳化硅反射镜工艺在粗研、精研、粗抛等加工阶段内可以取代传统的散粒磨料加工工艺。
公开日期2012-09-25
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22022]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
刘建卓,王旭. 固着磨料加工碳化硅反射镜的实验[J]. 光学精密工程,2009(4).
APA 刘建卓,&王旭.(2009).固着磨料加工碳化硅反射镜的实验.光学精密工程(4).
MLA 刘建卓,et al."固着磨料加工碳化硅反射镜的实验".光学精密工程 .4(2009).

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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