Lamb波压差式微流量传感器的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 光玲玲 ; 贾宏光 |
| 刊名 | 压电与声光
 |
| 出版日期 | 2010-02-15 |
| 期号 | 1 |
| 关键词 | 微流体系统 微流量传感器 Lamb波 |
| ISSN号 | 1004-2474 |
| 中文摘要 | 为提高微小流量检测的灵敏度,增大其动态范围,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量测试方法。采用双Lamb波压力传感器分别测量微通道两端的压力,通过压力差、微通道的几何尺寸及流动特性计算出流量。结果表明,以Lamb波为探测媒介,采用薄膜内应力敏感方式和频率计量方法,提高了传感器灵敏度、动态范围和测量精度;采用双Lamb波压力传感器不仅克服了背压对传感器精度的影响,同时消除了温度变化对测量结果带来的误差。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22522]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 光玲玲,贾宏光. Lamb波压差式微流量传感器的研究[J]. 压电与声光,2010(1). |
| APA | 光玲玲,&贾宏光.(2010).Lamb波压差式微流量传感器的研究.压电与声光(1). |
| MLA | 光玲玲,et al."Lamb波压差式微流量传感器的研究".压电与声光 .1(2010). |
入库方式： OAI收割
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