ICP光源中射频功率测量装置的设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 石宝松 ; 王超
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| 刊名 | 化工自动化及仪表
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| 出版日期 | 2010-05-10 |
| 期号 | 5 |
| 关键词 | ICP光源 功率测量 射频 |
| ISSN号 | 1000-3932 |
| 中文摘要 | 阐述ICP光源中射频功率测量的意义,提出了测量范围为100~1500W,频率为27.12MHz的功率测量装置的设计方案。详细分析了射频功率测量装置中的电路设计,包括采样互感器、功率合成电路、幅度相位分析电路和移相电路,并给出了判断ICP光源负载状态和性质的方法。在实验中,利用BIRD43型功率计和BIRD4304A型功率计对射频功率测量装置进行了参数校准。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22627]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 石宝松,王超. ICP光源中射频功率测量装置的设计[J]. 化工自动化及仪表,2010(5). |
| APA | 石宝松,&王超.(2010).ICP光源中射频功率测量装置的设计.化工自动化及仪表(5). |
| MLA | 石宝松,et al."ICP光源中射频功率测量装置的设计".化工自动化及仪表 .5(2010). |
入库方式： OAI收割
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