利用Zernike系数对离轴三反射系统进行计算机辅助装调
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王红 ; 田铁印
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| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2010-08-20 |
| 卷号 | 18期号:8页码:1754-1759 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| 中文摘要 | 针对离轴三反光学系统检测和装调的复杂性,提出了一套结合了干涉测量技术的计算机辅助装调方法。采用多视场ZYGO干涉仪自准干涉检验各种失调量产生的残余像差,得到表征系统失调量引起残余像差的一系列Zernike系数,利用Zernike系数与Seidel像差系数之间的相关性将之转化为几何像差作为校正对象。由光学设计软件求得与系统失调量相关的灵敏度矩阵,并确定对残余像差影响最敏感的失调量。当失调量被确定后,将调整后的结果再次代入光学设计软件进行验证。多次迭代后,得到系统的RMS值<0.04λ的良好结果,证明了这种指导装调的方法是行之有效的。 |
| 收录类别 | EI |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23616]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王红,田铁印. 利用Zernike系数对离轴三反射系统进行计算机辅助装调[J]. 光学精密工程,2010,18(8):1754-1759. |
| APA | 王红,&田铁印.(2010).利用Zernike系数对离轴三反射系统进行计算机辅助装调.光学精密工程,18(8),1754-1759. |
| MLA | 王红,et al."利用Zernike系数对离轴三反射系统进行计算机辅助装调".光学精密工程 18.8(2010):1754-1759. |
入库方式： OAI收割
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