基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张平 ; 吴一辉
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| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2006-03-30 |
| 期号 | 1 |
| 关键词 | 微型全分析系统(μTAS) 血细胞分离 微过滤器 MEMS 微分离技术 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,这种硅微过滤器能有效去除悬液中直径在14μm以上的微粒,且生物兼容性好,结构简单,易于实现片内集成。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24166]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张平,吴一辉. 基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作[J]. 微细加工技术,2006(1). |
| APA | 张平,&吴一辉.(2006).基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作.微细加工技术(1). |
| MLA | 张平,et al."基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作".微细加工技术 .1(2006). |
入库方式： OAI收割
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