基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王淑荣 ; 吴一辉
|
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 出版日期 | 2006-06-30 |
| 期号 | 2 |
| 关键词 | 微全分析系统 双功能温控芯片 MEMS 温度控制 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 为满足微全分析系统集成化的发展要求,设计制造了一种微型温控芯片。该芯片以硅为基底,采用MEMS工艺集成了加热和温度传感双重功能。介绍了芯片的制作工艺,并对加热器和温度传感器的性能进行测试和分析,结果表明,该芯片加热响应迅速,温度传感器灵敏度高、线性度好。而且这种温控芯片体积小、结构简单,易于集成。 |
| 公开日期 | 2012-09-25 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/24189]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王淑荣,吴一辉. 基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作[J]. 微细加工技术,2006(2). |
| APA | 王淑荣,&吴一辉.(2006).基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作.微细加工技术(2). |
| MLA | 王淑荣,et al."基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作".微细加工技术 .2(2006). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。