Surface roughness characterization of soft x-ray multilayer films on the nanometer scale
文献类型：期刊论文
| 作者 | Yu J.
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| 刊名 | Journal of Vacuum Science & Technology B
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| 出版日期 | 1996 |
| 卷号 | 14期号:1页码:42-47 |
| ISSN号 | 1071-1023 |
| 其他题名 | 论文其他题名 |
| 合作状况 | 合作性质 |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-10-21 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/25958]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Yu J.. Surface roughness characterization of soft x-ray multilayer films on the nanometer scale[J]. Journal of Vacuum Science & Technology B,1996,14(1):42-47. |
| APA | Yu J..(1996).Surface roughness characterization of soft x-ray multilayer films on the nanometer scale.Journal of Vacuum Science & Technology B,14(1),42-47. |
| MLA | Yu J.."Surface roughness characterization of soft x-ray multilayer films on the nanometer scale".Journal of Vacuum Science & Technology B 14.1(1996):42-47. |
入库方式： OAI收割
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