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CrN 基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究

文献类型:期刊论文

作者张广安; 王立平; 薛群基
刊名摩擦学学报
出版日期2011
卷号31期号:2页码:181-186
关键词复合材料 CrN基薄膜 结构 摩擦磨损 composite material CrN-based films microstructure friction and wear performance
ISSN号1004-0595
通讯作者王立平
中文摘要采用反应磁控溅射法制备了CrN、CrSiN与CrAlN复合薄膜,分析了复合薄膜的微观结构,并考察了3类薄膜的摩擦磨损性能.结果表明: 所制备的薄膜晶体结构没有随着Si或Al的加入发生转变,仍然为面心立方结构.CrAlN复合薄膜为合金复合薄膜,其中Al以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子,形成固溶体; CrSiN复合薄膜为晶态CrN与非晶态Si3N4组成纳米复合结构.复合薄膜结构致密且硬度较CrN大幅提高,在摩擦磨损过程中具有较强的抗形变能力,能够有效阻止裂纹,抗摩擦磨损性能较 CrN 薄膜均有不同程度的提高.
学科主题材料科学与物理化学
收录类别EI
资助信息国家高技术研究发展计划(863)项目(2009AA03Z105);国家自然科学基金项目(50823008)
语种中文
公开日期2012-09-24
源URL[http://210.77.64.217/handle/362003/908]  
专题兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
通讯作者王立平
推荐引用方式
GB/T 7714
张广安,王立平,薛群基. CrN 基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究[J]. 摩擦学学报,2011,31(2):181-186.
APA 张广安,王立平,&薛群基.(2011).CrN 基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究.摩擦学学报,31(2),181-186.
MLA 张广安,et al."CrN 基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究".摩擦学学报 31.2(2011):181-186.

入库方式: OAI收割

来源:兰州化学物理研究所

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