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铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究

文献类型:期刊论文

作者陈建敏; 薛群基
刊名润滑与密封
出版日期2011
卷号36期号:10页码:20-24
关键词GLC薄膜 Al掺杂 表面结构 机械性能 摩擦行为 GLC film Al doping surface structure mechanical properties tribological behaviors
ISSN号0254-0150
中文摘要利用磁控溅射技术在硅片表面上制备铝掺杂类石墨(Graphite- like carbon,GLC) 薄膜,采用原子力显微镜场发射扫描电镜 X 射线光电子能谱仪 纳米压痕仪等考察铝掺杂对薄膜表面形貌 结构及其机械性能的影响规律; 利用旋转的球-盘微摩擦试验机考察薄膜的摩擦行为 结果表明: 铝的引入使GLC薄膜表面更加平整 致密; GLC薄膜的硬度和弹性模量随着掺铝量的增加而增加; 低载低速时,薄膜摩擦因数随着铝含量的增加而增加,高载高速时,摩擦因数随铝掺入量的增加明显降低且更稳定.
学科主题材料科学与物理化学
资助信息国家自然科学基金项目(50905178);宁波市团队引进项目(2009A31004);中国科学院兰州化物所固体润滑国家重点实验室开放课题(NO.1004)
语种中文
公开日期2012-09-24
源URL[http://210.77.64.217/handle/362003/926]  
专题兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
陈建敏,薛群基. 铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究[J]. 润滑与密封,2011,36(10):20-24.
APA 陈建敏,&薛群基.(2011).铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究.润滑与密封,36(10),20-24.
MLA 陈建敏,et al."铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究".润滑与密封 36.10(2011):20-24.

入库方式: OAI收割

来源:兰州化学物理研究所

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