水溶液法制备图案化TiO2薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 薛群基
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| 刊名 | 物理化学学报
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| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 26期号:2页码:502-506 |
| 关键词 | TiO2 硫酸钛 过氧硫酸钛 图案化 化学浴沉积 电沉积 Titanium sulfate Peroxotitanium sulfate Patterning Chemical bath deposition Eletrodeposition |
| ISSN号 | 1000-6818 |
| 通讯作者 | 梁山 |
| 中文摘要 | 从硫酸钛Ti(SO4)2的水溶液出发, 采用化学浴沉积和电沉积法来制备图案化TiO2薄膜. 通过硫酸和双氧水来稳定Ti4+, 配制了pH=1.0的硫酸钛溶液和pH=1.6的过氧硫酸钛溶液. 结合微接触印刷术在硅基底上制得自组装膜预图案, 再化学浴沉积 TiO2即可得规则图纹. 无机配体对钛溶液的稳定性和TiO2的晶型均有影响, 溶液的酸度关系到所得图案的质量. 过氧硫酸钛溶液同样适用于电沉积, 在导电玻璃基底上旋涂光刻胶后选择性曝光、显影, 通过控制阴极电位可获得高差达200 nm的清晰图案. |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 收录类别 | SCI |
| 资助信息 | 天津科技大学引进人才科研启动基金(20080433)资助项目 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-09-28 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/1133]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛群基. 水溶液法制备图案化TiO2薄膜[J]. 物理化学学报,2010,26(2):502-506. |
| APA | 薛群基.(2010).水溶液法制备图案化TiO2薄膜.物理化学学报,26(2),502-506. |
| MLA | 薛群基."水溶液法制备图案化TiO2薄膜".物理化学学报 26.2(2010):502-506. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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