碳基薄膜的设计、制备与摩擦学性能研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王舟 |
| 学位类别 | 理学博士 |
| 答辩日期 | 2010-05-07 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 张俊彦 |
| 关键词 | 类富勒烯碳薄膜 碳氮薄膜 热处理 摩擦磨损 摩擦机理 fullerene-like carbon films carbon nitride films thermal treatment tribology and wear tribological mechanism |
| 学位专业 | 物理化学 |
| 中文摘要 | 本文利用等离子增强化学气相沉积（PECVD）和溅射技术制备了三种类金刚石碳基薄膜，研究了薄膜的性能结构与制备工艺的相关性，考察了薄膜在不同工况条件下的摩擦学性能，探讨了薄膜的摩擦学机理，主要研究成果如下： 1. 利用直流脉冲PECVD制备了含氢类富勒烯碳薄膜，该薄膜具有高的硬度，优异的弹性恢复以及在空气环境的超润滑性能。薄膜主要由sp2杂化碳组成，含有较多的键合氢，其特殊的弯曲结构赋予薄膜优异的机械性能。考察了压强、速度、对偶材料与其摩擦学性能之间的关系，分析了薄膜在摩擦前后的化学，物理变化，提出了弹性性能和界面碳氢基团共同作用的超润滑摩擦机理； 2. 制备了含氢碳氮薄膜，研究了其在不同退火温度下的热稳定性行为，并测试了相应的摩擦学性质。结果表明，薄膜随温度升高而经历了石墨化转变过程，有利于改善薄膜的摩擦学性能； 3. 采用溅射方法制备了不含氢无定形碳薄膜（a-C），研究了其结构演变和基底偏压的关系，结果表明：石墨化团簇和结构有序性能改善无定形碳薄膜的摩擦学性能。 |
| 学科主题 | 薄膜材料 |
| 公开日期 | 2012-11-07 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/1693]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王舟. 碳基薄膜的设计、制备与摩擦学性能研究[D]. 中国科学院研究生院. 2010. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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