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一种应用于激光切割的双CCD成像系统

文献类型:专利

作者黄见洪,吴鸿春,翁文,刘华刚,葛燕,阮开明,邓晶,郑晖,李锦辉,史斐,戴殊韬,林文雄.
专利国别中国
专利类型发明
权利人黄见洪,吴鸿春,翁文,刘华刚,葛燕,阮开明,邓晶,郑晖,李锦辉,史斐,戴殊韬,林文雄.
中文摘要本发明公开一种应用于激光切割的双CCD成像系统,属光电子领域,可应用于激光切割,激光钻孔等激光加工方面。本发明包括三个成像镜组和两个CCD相机,上高倍成像镜组和低倍成像镜组在不同波长的照明光源下工作,并共用一个CCD相机。本发明的目的在于公开一种新的CCD成像系统,不仅能满足LED晶圆激光切割高精度的成像要求,同时降低了设备成本以及图像处理负担,对于提高设备厂家的经济效益具有重要的意义。
公开日期2012-11-09
语种中文
专利申请号CN201210032833.7
源URL[http://ir.fjirsm.ac.cn/handle/335002/3968]  
专题福建物质结构研究所_中科院福建物质结构研究所_专利
推荐引用方式
GB/T 7714
黄见洪,吴鸿春,翁文,刘华刚,葛燕,阮开明,邓晶,郑晖,李锦辉,史斐,戴殊韬,林文雄.. 一种应用于激光切割的双CCD成像系统.

入库方式: OAI收割

来源:福建物质结构研究所

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