应用于激光加工的旋转光学设计
文献类型:专利
作者 | 黄见洪,葛燕,翁文,刘华刚,阮开明,邓晶,郑晖,李锦辉,史裴,戴殊韬,吴鸿春,林文雄. |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 黄见洪,葛燕,翁文,刘华刚,阮开明,邓晶,郑晖,李锦辉,史裴,戴殊韬,吴鸿春,林文雄. |
中文摘要 | 本发明涉及一种应用于激光加工的旋转光学设计。由偏振器,λ/4波片,高速旋转电机,全反镜,聚焦镜组等组成;可以实现高质量孔形、高径深比微孔高效加工,同时可以调整微孔锥度。本发明对于降低旋转光学技术难度和成本实现产业化,具有重要的实际意义。 |
公开日期 | 2012-11-09 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN201210028317.7 |
源URL | [http://ir.fjirsm.ac.cn/handle/335002/3990] ![]() |
专题 | 福建物质结构研究所_中科院福建物质结构研究所_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄见洪,葛燕,翁文,刘华刚,阮开明,邓晶,郑晖,李锦辉,史裴,戴殊韬,吴鸿春,林文雄.. 应用于激光加工的旋转光学设计. |
入库方式: OAI收割
来源:福建物质结构研究所
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