应用于半导体器件的掺杂纳米金刚石膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 苏含; 汪建华; 熊礼威; 刘鹏飞; 江川 |
| 刊名 | 武汉工程大学学报
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| 出版日期 | 2011 |
| 期号 | 10页码:68-72 |
| 关键词 | 纳米金刚石膜 半导体器件 掺杂 |
| 公开日期 | 2012-07-06 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn/handle/334002/5405]  |
| 专题 | 合肥物质科学研究院_中科院等离子体物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苏含,汪建华,熊礼威,等. 应用于半导体器件的掺杂纳米金刚石膜[J]. 武汉工程大学学报,2011(10):68-72. |
| APA | 苏含,汪建华,熊礼威,刘鹏飞,&江川.(2011).应用于半导体器件的掺杂纳米金刚石膜.武汉工程大学学报(10),68-72. |
| MLA | 苏含,et al."应用于半导体器件的掺杂纳米金刚石膜".武汉工程大学学报 .10(2011):68-72. |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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