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半導体レーザの製法

文献类型:专利

作者石田 ▲祐▼士; 上林 秀史
发表日期2012-02-03
专利号JP4917704B2
著作权人ローム株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名半導体レーザの製法
英文摘要【課題】 用途に応じてLDチップとPDとの接続構造を、いわゆるMタイプ、Pタイプ、Nタイプなどのいずれの構造でも自由に製造し得ると共に、絶縁膜による容量の問題を生じさせないで、高周波特性を劣化させずに、さらに小形化し得る半導体レーザを提供する。 【解決手段】 金属製のヒートシンク11上に、AlNやSiCなどの熱伝導率が大きい絶縁体からなり、平面形状がほぼ長方形状のサブマウント2が設けられている。このサブマウント2の表面には、長方形の長辺方向に半分より大きい部分と残部とに分離して、第1および第2のメタル層21、22が設けられ、第1のメタル層21上にLDチップ3が設けられ、LDチップ3の出射面の後ろ側におけるヒートシンク11上に、サブマウント2と並置してPD4が設けられ、そのPD4の高さHPがサブマウント2の高さHS以下に形成されている。
公开日期2012-04-18
申请日期2000-06-01
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/33666]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位ローム株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
石田 ▲祐▼士,上林 秀史. 半導体レーザの製法. JP4917704B2. 2012-02-03.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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