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レーザ加工装置

文献类型:专利

作者坂井 辰彦; 浜田 直也; 城戸 基; 今井 浩文; 杉橋 敦史; 濱村 秀行; 山本 博之
发表日期2007-11-30
专利号JP4047621B2
著作权人新日本製鐵株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名レーザ加工装置
英文摘要【課題】 高速で加工面を走査することができ、レーザ光を微小集光像に集光することができるレーザ加工装置を提供する。 【解決手段】 複数のファイバレーザ発振装置12と、ファイバレーザ発振装置12からのパルスレーザ光をそれぞれ加工面に集光する集光光学系20とを備えている。ファイバレーザ発振装置12ごとに独立してパルス変調可能である。集光光学系20は、ファイバレーザ発振装置12ごとに設けられており、集光点が直線に沿って整列するように集光する。ファイバレーザ発振装置12の励起装置14によって、パルスを変調する。
公开日期2008-02-13
申请日期2002-04-22
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/33789]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位新日本製鐵株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
坂井 辰彦,浜田 直也,城戸 基,等. レーザ加工装置. JP4047621B2. 2007-11-30.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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