レーザ加工装置
文献类型:专利
作者 | 坂井 辰彦; 浜田 直也; 城戸 基; 今井 浩文; 杉橋 敦史; 濱村 秀行; 山本 博之 |
发表日期 | 2007-11-30 |
专利号 | JP4047621B2 |
著作权人 | 新日本製鐵株式会社 |
国家 | 日本 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | レーザ加工装置 |
英文摘要 | 【課題】 高速で加工面を走査することができ、レーザ光を微小集光像に集光することができるレーザ加工装置を提供する。 【解決手段】 複数のファイバレーザ発振装置12と、ファイバレーザ発振装置12からのパルスレーザ光をそれぞれ加工面に集光する集光光学系20とを備えている。ファイバレーザ発振装置12ごとに独立してパルス変調可能である。集光光学系20は、ファイバレーザ発振装置12ごとに設けられており、集光点が直線に沿って整列するように集光する。ファイバレーザ発振装置12の励起装置14によって、パルスを変調する。 |
公开日期 | 2008-02-13 |
申请日期 | 2002-04-22 |
状态 | 授权 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/33789] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 新日本製鐵株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 坂井 辰彦,浜田 直也,城戸 基,等. レーザ加工装置. JP4047621B2. 2007-11-30. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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