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レーザーリペア装置及び方法

文献类型:专利

作者呉 錫昌; 弘 順國; 姜 炯植; 宋 敏奎; 朴 寅泰
发表日期2010-03-05
专利号JP4469813B2
著作权人エルジー電子株式會社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名レーザーリペア装置及び方法
英文摘要【課題】レーザーリペア装置及び方法の提供。 【解決手段】電極パネルにレーザービームを照射するレーザー発振器と、前記レーザー発振器と前記電極パネルの間に配置されてレーザーを前記電極パネルの一側に集光させる集光手段と、前記電極パネルに可視光線を照射する照明手段と、前記レーザービームを透過させたり前記電極パネルに反射された可視光線を反射させるビーム分割器と、前記電極パネルに反射された可視光線を全反射させる全反射鏡と、前記ビーム分割器又は前記全反射鏡から反射された可視光線を通じて前記電極パネルを観測する観測手段と、前記ビーム分割器又は前記全反射鏡を前記レーザービームの照射線上に選択的に位置させる切替手段と、を含めて構成され、前記ビーム分割器に反射される光量が乏しくて観測手段に出力される画像の判読が不可能な場合、反射率に優れた全反射鏡に容易に切り替え、前記電極パネルを容易に観測できるようにする。 【選択図】図4
公开日期2010-06-02
申请日期2006-05-31
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/33964]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位エルジー電子株式會社
推荐引用方式
GB/T 7714
呉 錫昌,弘 順國,姜 炯植,等. レーザーリペア装置及び方法. JP4469813B2. 2010-03-05.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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