露光装置
文献类型：专利
| 作者 | 梶山 康一; 水村 通伸; 金尾 正康; 石川 晋 |
| 发表日期 | 2016-09-02 |
| 专利号 | JP5994091B2 |
| 著作权人 | 株式会社ブイ·テクノロジー |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 露光装置 |
| 英文摘要 | 【課題】露光光源と接続端子とを基板に対して上下方向に積層して配置することにより、基板上に露光光源を密に配置することができる露光装置を提供する。 【解決手段】露光装置は、透明基板1と、前記透明基板1上に配置され、露光光Lを放射する露光光源2と、前記露光光源2を挟んで前記透明基板1と反対側に積層して配置された接続端子3と、前記露光光源2と前記接続端子3とを電気的に接続する駆動電極4と、を含んで構成される。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2016-09-21 |
| 申请日期 | 2012-05-16 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/34126]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 株式会社ブイ·テクノロジー |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梶山 康一,水村 通伸,金尾 正康,等. 露光装置. JP5994091B2. 2016-09-02. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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