晶粒之光電特性及外觀檢測系統
文献类型:专利
作者 | 徐榮祥; 楊勇峰; 薛永亮 |
发表日期 | 2019-09-01 |
专利号 | TWI670503B |
著作权人 | 駿曦股份有限公司 |
国家 | 中国台湾 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 晶粒之光電特性及外觀檢測系統 |
英文摘要 | 本發明提供一種晶粒之光電特性及外觀檢測系統,包含有第一外觀檢測裝置進行晶粒正面檢測,移動裝置提取晶粒進行移動,第二外觀檢測裝置進行晶粒背面檢測,第一電性檢測裝置設置在滑軌裝置,以進行晶粒的第一電性檢測,第二電性檢測裝置進行晶粒的第二電性檢測,第三外觀檢測裝置設在滑軌裝置,以使第二電性檢測裝置位在第一、第三外觀檢測裝置間,第三外觀檢測裝置進行晶粒的側面檢測,檢測後將晶粒移至分類。本發明結合光學檢測及電性檢測,藉此一併檢測晶粒的光電特性及外觀,以增加檢測的速度。 |
公开日期 | 2019-09-01 |
申请日期 | 2018-09-04 |
状态 | 授权 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/34641] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 駿曦股份有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐榮祥,楊勇峰,薛永亮. 晶粒之光電特性及外觀檢測系統. TWI670503B. 2019-09-01. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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