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窒化物系III-V族化合物半導体装置およびその製造方法

文献类型:专利

作者花岡 大介; 古川 勝紀
发表日期2005-07-22
专利号JP3700872B2
著作权人シャープ株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名窒化物系III-V族化合物半導体装置およびその製造方法
英文摘要【課題】 窒化物系III-V族化合物半導体層に対して密着性が良く、物理的強度が強い電極層を得る。 【解決手段】 窒化物系III-V族化合物半導体層13,17に接して、多結晶GaN電極層19,18を形成する。これらの多結晶GaN電極層19,18は、従来の金属電極層に比べて窒化物系III-V族化合物半導体層との密着性が良好であり、物理的強度も強い。また、これらの多結晶GaN電極層19,18は発光波長に対する透過率が高いので、発光の外部への取り出し効率も高く、また、窒化物系III-V族化合物半導体層に対するオーミック性も良好である。
公开日期2005-09-28
申请日期1995-12-28
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/35115]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位シャープ株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
花岡 大介,古川 勝紀. 窒化物系III-V族化合物半導体装置およびその製造方法. JP3700872B2. 2005-07-22.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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