半導体製造方法
文献类型：专利
| 作者 | ▲高▼橋 向星; 松井 完益 |
| 发表日期 | 2004-05-21 |
| 专利号 | JP3555717B2 |
| 著作权人 | シャープ株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 半導体製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 リンの排出工程に要する時間を飛躍的に低減し、半導体ウエハの生産効率を格段に向上する。 【解決手段】 液体窒素コールドトラップ28が配設された超高真空室23に、ゲートバルブ22を介して超高真空排気用のターボ分子ポンプ20を連通し、かつゲートバルブ25を介して液体窒素コールドトラップ28に広帯域ターボ分子ポンプ24を連通する。液体窒素コールドトラップ28に吸着されたリンを追い出す工程を、ターボ分子ポンプ20を停止し、広帯域ターボ分子ポンプ24を駆動して行う。 |
| 公开日期 | 2004-08-18 |
| 申请日期 | 1996-05-09 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/35137]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | シャープ株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | ▲高▼橋 向星,松井 完益. 半導体製造方法. JP3555717B2. 2004-05-21. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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