集光レンズ、合波レーザー光源および露光装置
文献类型：专利
| 作者 | 岡崎 洋二; 永野 和彦; 山川 博充 |
| 发表日期 | 2008-11-07 |
| 专利号 | JP4213402B2 |
| 著作权人 | 富士フイルム株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 集光レンズ、合波レーザー光源および露光装置 |
| 英文摘要 | 【課題】 高出力が得られる低コストの合波レーザー光源を得る。 【解決手段】 複数の半導体レーザーLD1〜7からそれぞれ出射したレーザービームB1〜7を、コリメーターレンズ部分21〜27および集光レンズ部分28が一体成形されてなる集光レンズ20で集光した上でマルチモード光ファイバー30に結合させて合波する。 |
| 公开日期 | 2009-01-21 |
| 申请日期 | 2002-05-23 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/35481]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 富士フイルム株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 岡崎 洋二,永野 和彦,山川 博充. 集光レンズ、合波レーザー光源および露光装置. JP4213402B2. 2008-11-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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