Wafer-level testing of optical and optoelectronic chips
文献类型：专利
| 作者 | GUNN, III, LAWRENCE C.; MALENDEVICH, ROMAN; PINGUET, THIERRY J.; RATTIER, MAXIME J.; SUSSMAN, MYLES; WITZENS, JEREMY |
| 发表日期 | 2007-02-27 |
| 专利号 | US7184626 |
| 著作权人 | LUXTERA, INC. |
| 国家 | 美国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | Wafer-level testing of optical and optoelectronic chips |
| 英文摘要 | This application describes, among others, wafer designs, testing systems and techniques for wafer-level optical testing by coupling probe light from top of the wafer. |
| 公开日期 | 2007-02-27 |
| 申请日期 | 2004-04-07 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/37058]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | LUXTERA, INC. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | GUNN, III, LAWRENCE C.,MALENDEVICH, ROMAN,PINGUET, THIERRY J.,et al. Wafer-level testing of optical and optoelectronic chips. US7184626. 2007-02-27. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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