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レーザ共振器、レーザ加工装置及びレーザ共振器の除湿方法

文献类型:专利

作者尾形 敦; 森野 浅実
发表日期2018-11-16
专利号JP6435153B2
著作权人株式会社アマダホールディングス
国家日本
文献子类授权发明
其他题名レーザ共振器、レーザ加工装置及びレーザ共振器の除湿方法
英文摘要【課題】レーザダイオードを収容する筐体内の結露を適切に防止することができるレーザ共振器を提供する。 【解決手段】レーザを発振するレーザダイオードを収容するレーザモジュールと、レーザモジュールを収容する筐体と、レーザモジュールに接続された冷却経路と、外部から供給されたパージ用の圧縮空気から低露点のドライエアを生成してレーザモジュールに供給するエアパージユニットと、エアパージユニットによるドライエアの供給と並行して、筐体内部の温度を制御することにより、ドライエアの温度を制御するエアコンとを備える。 【選択図】図1
公开日期2018-12-05
申请日期2014-10-14
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/37781]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社アマダホールディングス
推荐引用方式
GB/T 7714
尾形 敦,森野 浅実. レーザ共振器、レーザ加工装置及びレーザ共振器の除湿方法. JP6435153B2. 2018-11-16.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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